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海南半自动FOSB清洗机出厂价

更新时间:2025-09-29      点击次数:4

产品介绍:半导体清洗机请认准江苏芯梦半导体设备有限公司,经营各类半导体清洗机,为国内半导体清洗机专业供应商,其中就包含FOUP清洗机。

FOUP清洗机是一种自动的离心清洗机,适用于所有类型的晶圆料盒(SmifFoup、Fosb、Cassette),可以实现良好的清洗和干燥效果。装载有待清洗的foup,在Chamber的中心转轴上安装和固定,在封闭的清洗室内360°正反转动。由DIWater的表面张力、机械力进行Particle清洗,离心+热风进行烘干等工艺组成,高效率、高质量完成foup的Particle清洗。

设备特点:

●多达十段清洗流程设定,工艺窗口更宽;

●含有自动执行状态显示,快速检视状态及工作时间;

●扭力侦测转篮卡榫未定位保护,降低因人为导致设备损坏;

●主轴以伺服马达控制达到稳定加减速及转速数值化设定控制

●旋转式离心清洗,可正反调速旋转,清理产品表面的附着残留;

●以IR烘烤加速干燥时间,无任何水份残留;

●采用体(二流体选项)的清洗模式,能有效的去处微小的污染物;

●操作程序PLC控制可按作业需求自由调整,方便快捷,人性化设计。

应用范围:

该设备主要用于半导体制程的Foup、Fosb、Cassette的Particle清洗。


江苏芯梦是您身边专业的晶圆盒清洗设备制造商!海南半自动FOSB清洗机出厂价

晶圆盒清洗机包括

FoupCleaner;

Xtrim-FC-M300/400高速型;

FouPCleaner;

Xtrim-FC-H300水平机

AutoFOUP/FOSBCleaningSystem

全自动FOUP/FOSB清洗机Xtrim-FC-A300

Xtrim-FC-M300Introduction:

产品介绍:

Over25yearsofexperienceincleaningequipmentbusiness;

在清洗机行业超25年经验;

ProfessionalserviceandsupportteamsinShanghaiandSuzhou;

在上海,苏州有完善的服务和销售团队

Designed,manufacturedandservicedbox/-FOUP/FOSB/MASKPODcleaners;

自主研发设计、生产、服务、可用于片盒、FOUP、光罩盒清洗;

SEMI S2认证;


中国澳门全自动花篮清洗机出厂价芯梦设备的功能和性能已经得到了广大用户的认可和好评!

5大系统结构:

纯水加热PWH、高压喷淋HPS、热风烘干HAD、快速甩干HSD、CDA/N2吹扫。

25组清洗:

工艺配方ProcessFormula,不同的Cassette灵活设定。

EN18822-H14:

高等级空气过滤系统;超纯水0.1um过滤,CDA0.03um过滤。

4寸~12寸全尺寸兼容,快速实现干进干出,30~60分钟完成1次清洗工艺节拍,更大吞吐量。

2仓2基地:

苏州+上海快速响应备件及现场技术服务寿命管理lifecycleManagement配备RFID数据读取和上传功能+SECSGEM200通讯系统,方便客户的数据管理Cassette使用情况

FOUP的干燥步骤旨在将其表面的水分完全去除,以确保FOUP在后续的半导体制造过程中不会引入水分造成污染或其他问题。以下是一般的FOUP干燥步骤:静置排水:在冲洗步骤之后,FOUP可能会经过一段时间的静置,以让水自然排出。FOUP通常被放置在倾斜或垂直的位置,以便水能够从FOUP底部排出。喷气干燥:为了加速干燥过程,FOUP清洗机通常配备了喷气装置。喷气装置会通过向FOUP表面喷射干燥的气流,将水分蒸发。气流可以是压缩空气或氮气。喷气干燥的时间和气流的强度可以根据需要进行调整。热风干燥:有些FOUP清洗机还配备了热风干燥功能。在喷气干燥之后,FOUP可能会进入一个热风室,其中通过加热空气或氮气来加速水分的蒸发。热风干燥可以更彻底地去除FOUP表面的水分。真空干燥:另一种常见的干燥方法是利用真空环境。FOUP可能会进入一个真空腔室,其中通过创建负压,使水分在低压下蒸发。真空干燥可以提供更快速和彻底的干燥效果。气流净化:在干燥过程中,清洗机通常会通过高效过滤器和空气净化系统提供干净的气流环境。这有助于防止新的颗粒进入FOUP,并确保干燥过程中不会引入新的污染物。选择我司设备,让你的生产更加智能、自动化!

FOUP清洗机是一种清洗foup的设备,用于清洗和处理FOUP(FrontOpeningUnifiedPod)。FOUP是半导体制造过程中存放晶圆的封闭式容器。FOUP清洗机通过自动化的清洗过程,去除FOUP内外的污染物,确保晶圆的高纯度和可靠性。FOUP清洗机具备多种功能和处理能力。它能够去除FOUP内的油脂、有机物、化学物质残留和水分。清洗机采用不同的清洗方法和工艺参数,如喷淋清洗、超声波清洗、高温处理等,以适应不同类型的污染物,并确保清洗效果。清洗机具有高效快速的特点。它能够在短时间内完成清洗过程,提高生产效率。自动化控制系统确保清洗过程的精确执行,减少人为操作的误差。FOUP清洗机注重安全性和可靠性。它采用高质量的材料和密封结构,确保清洗过程中不会对FOUP造成损害。安全控制系统和报警装置保障操作人员的安全。清洗机还配备直观的用户界面和操作控制面板,使操作人员能够轻松控制和监测清洗过程。清洗机还具备数据记录和追溯功能,方便对清洗过程进行监控和分析。它可记录清洗参数、时间和结果等信息,为质量控制我司设备采用先进技术,助你轻松提升生产效率!天津全自动FOUP清洗机维修价格

芯梦设备操作简便,维护方便,降低你的生产成本!海南半自动FOSB清洗机出厂价

辅助功能和操作控制

触摸屏安装在前面一标准化

也可以通过安装第二个触摸屏在背面进行控制一选项

其他特征

工艺腔室内LED灯光照明

可安装去静电装置和电阳率监测装置选项

稳定、亚光不锈钢笼子

材料的外壳一可选择符合FM4910标准

PP材料的工艺腔室一可选择符合FM4910标准

设备前面带有滑动门一标准化为手动/可选择自动

设备前面的滑动门在做维护时可完全打开

其他种类的花篮和片盒相适应的组件一选项图形化的界面

易于操作和控制

10“触摸屏PLC控制器SECSIIGEM接口


海南半自动FOSB清洗机出厂价

江苏芯梦半导体设备有限公司在同行业领域中,一直处在一个不断锐意进取,不断制造创新的市场高度,多年以来致力于发展富有创新价值理念的产品标准,在江苏省等地区的机械及行业设备中始终保持良好的商业口碑,成绩让我们喜悦,但不会让我们止步,残酷的市场磨炼了我们坚强不屈的意志,和谐温馨的工作环境,富有营养的公司土壤滋养着我们不断开拓创新,勇于进取的无限潜力,江苏芯梦半导体设备供应携手大家一起走向共同辉煌的未来,回首过去,我们不会因为取得了一点点成绩而沾沾自喜,相反的是面对竞争越来越激烈的市场氛围,我们更要明确自己的不足,做好迎接新挑战的准备,要不畏困难,激流勇进,以一个更崭新的精神面貌迎接大家,共同走向辉煌回来!

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